高純氣體分析色譜儀適應(yīng)惡劣環(huán)境下的長期工作
點擊次數(shù):515 更新時間:2023-12-23
高純氣體分析色譜儀是一種專門用于分析和檢測高純度氣體成分的儀器?;谏V技術(shù)原理,能夠?qū)怏w中微量的成分進行準確、快速的分析,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、化工等領(lǐng)域。主要由氣路系統(tǒng)、進樣系統(tǒng)、柱箱系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等幾個部分組成。其中,氣路系統(tǒng)包括氣源、氣流調(diào)節(jié)、氣流分配等模塊,進樣系統(tǒng)用于精確控制樣品的進樣量和進樣時間,柱箱系統(tǒng)則包括柱子、加熱器和溫控系統(tǒng),檢測系統(tǒng)主要包括檢測器和放大器等部分,數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)則用于將檢測到的數(shù)據(jù)進行處理和分析。
工作原理基于色譜技術(shù)原理。當(dāng)待分析的氣體經(jīng)過樣品進樣系統(tǒng)進入柱子時,會受到柱子內(nèi)填料的分離作用,不同成分的氣體會在柱子中被分離出來,分離出來的氣體分別進入檢測器進行檢測,檢測器將檢測到的信號傳輸至放大器,經(jīng)過放大處理后,再傳輸至數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進行處理和分析,最終得出樣品中各成分的含量。
1.高靈敏度:能夠檢測到極低濃度的微量氣體成分,達到ppm、ppb甚至ppt級別。
2.高精度:對于同一樣品,反復(fù)測試結(jié)果誤差小,分析結(jié)果準確可靠。
3.可靠性高:采用先進的技術(shù)和材料,具備較強的耐腐蝕性和穩(wěn)定性,適應(yīng)惡劣環(huán)境下的長期工作。
4.操作簡便:采用全自動化控制系統(tǒng),操作簡便,不需要高超的技能。
高純氣體分析色譜儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、化工等領(lǐng)域,用于分析氣體中的微量雜質(zhì)元素,如H2、O2、N2、Ar、He、Kr、Xe、CO2、CO、CH4、C2H4、C2H6等。近年來,在新能源汽車、氫能源等領(lǐng)域也得到了廣泛應(yīng)用。